안녕하세요. 측정 기술 및 설비 예지보전 솔루션 전문기업 USENS 유센스입니다. 02-6476-1233 / sales@usens.co.kr 설비 진단의 이해 - 센서 편 #41. MEMS 진동 센서란?2. MEMS 진동 센서의 특징3. MEMS 진동 센서의 활용 분야 진동센서의 종류 (가속도계, 속도센서, 변위센서, MEMS 진동센서 , 초음파 진동센서) 중 MEMS센서는 반도체 타입 센서로서 가장 최근에 개발된 센서입니다.1. MEMS 진동센서란?MEMS 센서는 마이크로전자기계시스템(Micro Electro Mechanical Systems) 기술을 활용하여 제작된 초소형 센서입니다. 'MEMS 진동 센서'는 MEMS 기술을 이용해 진동을 감지하는 센서를 의미합니다. 일반적으로 MEMS 가속도 센서..
