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설비 진단의 이해 - 센서 편 #4
1. MEMS 진동 센서란?
2. MEMS 진동 센서의 특징
3. MEMS 진동 센서의 활용 분야
진동센서의 종류 (가속도계, 속도센서, 변위센서, MEMS 진동센서 , 초음파 진동센서) 중 MEMS센서는 반도체 타입 센서로서 가장 최근에 개발된 센서입니다.
1. MEMS 진동센서란?
MEMS 센서는 마이크로전자기계시스템(Micro Electro Mechanical Systems) 기술을 활용하여 제작된 초소형 센서입니다. 'MEMS 진동 센서'는 MEMS 기술을 이용해 진동을 감지하는 센서를 의미합니다. 일반적으로 MEMS 가속도 센서 또는 MEMS 자이로스코프가 진동 감지를 담당합니다.
2. MEMS 진동 센서의 특징
- 초소형 및 경량 : 소형 전자기기에 쉽게 내장 가능
- 고감도 측정 : 미세한 진동까지 감지 가능
- 저전력 소비 : 웨어러블, IOT 장치에서 사용하기 적합
- 높은 신뢰성 : 산업용 장비 및 차량 진동 감지 등에 사용
더불어 MEMS 진동센서는 일반적으로 낮은 전원 전압만으로 동작하며, 일부 모델은 추가 신호 처리없이 사용할 수 잇습니다. 또한 다축 센서로 구성할 수 있으며, 외장형 모델의 경우 탈부착이 용이합니다.
3. MEMS 진동 센서의 활용 분야
MEMS 센서는 반도체 기술을 활용해 전자와 기계 구조를 결합한 초소형 센서로, 스마트폰, 자동차, 헬스케어 등 다양한 산업에서 필수적인 역할을 하고 있습니다. 특히, IoT(사물인터넷) 기술과 결합하면서 앞으로 더욱 광범위하게 활용될 전망입니다.
그림1. MEMS 정정용량식(Capacitive) 가속도 센서 구조
그림2. MEMS 압저항식(Piexo-resistive) 가속도 센서 구조
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